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中科芯微申请基于预设轨迹的双臂机械手动态校
国度学问产权局消息显示，中科芯微智能配备（沈阳）无限公司申请一项名为“基于预设轨迹的双臂机械手动态校准安拆及校准方式”的专利，公开号CN121245861A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，涉及晶圆输送范畴，包罗：导向挪动件，取导向挪动件毗连，并能受控地沿曲线活动轨迹挪动；两个对称设置的浮动毗连件，安拆于所述支承件上，每一浮动毗连件均能绕一垂曲于曲线活动轨迹的轴线扭转，并能沿所述轴线的标的目的顺应性浮动；当支承件沿曲线活动轨迹挪动时，两个浮动毗连件可以或许同时牵引两个手臂同步沿曲线活动轨迹舒展或收缩。采用上述方案，正在多源误差叠加下快速校准双臂以实现双臂活动轨迹的不变分歧。
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